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 　　ICP光譜儀應用很廣，在農業、天文、汽車、生物、化學、鍍膜、色度計量、環境檢測、薄膜工業、食品、印刷、造紙、拉曼光譜、半導體工業、成分檢測、顏色混合及匹配、生物醫學應用、熒光測量、寶石成分檢測、氧濃度傳感器、真空室鍍膜過程監控、薄膜厚度測量、LED測量、發射光譜測量、紫外/可見吸收光譜測量、顏色測量等領域應用廣泛。

　　構成：

　　一臺典型的ICP光譜儀主要由一個光學平臺和一個檢測系統組成。包括以下幾個主要部分：

　　1. 入射狹縫: 在入射光的照射下形成ICP光譜儀成像系統的物點。

　　2. 準直元件: 使狹縫發出的光線變為平行光。該準直元件可以是一獨立的透鏡、反射鏡、或直接集成在色散元件上，如凹面光柵ICP光譜儀中的凹面光柵。

　　3. 色散元件: 通常采用光柵，使光信號在空間上按波長分散成為多條光束。

　　4. 聚焦元件: 聚焦色散后的光束，使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像，其中每一像點對應于一特定波長。

　　5. 探測器陣列：放置于焦平面，用于測量各波長像點的光強度。該探測器陣列可以是CCD陣列或其它種類的光探測器陣列。