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ICP光譜儀分析完畢后，如果試液為無機水溶液，分別用硝酸溶液（5±95）和去離子水沖洗光譜分析儀的進樣系統(tǒng)（5~10）min；如果試液為有機溶液，則用煤油等有機溶液進行清洗（5~10）min。單擊“熄火”圖標，熄火等離子體。
為延長光譜分析儀蠕動泵管的使用壽命，將泵管從蠕動泵上放松并將蠕動泵夾松開；關(guān)閉抽風(fēng)機電源，將進樣毛細管或者自動進樣器的取出，以免虹吸收應(yīng)使霧室積水。確保排廢液管牢固地鏈接在霧室的下方，廢液緩慢而均勻地從蠕動泵排除。保持排廢液管的干凈。在必要時倒掉廢液桶中的廢液：關(guān)閉循環(huán)水；關(guān)閉氣源（CID檢測器不能馬上關(guān)閉氣源）；檢測霧化器及排廢液管與霧室鏈接處是否有滲漏，檢查霧室內(nèi)是否積污物。檢查霧室上的O形圈是否有滑脫、破損、失去彈性等現(xiàn)象。
檢查光譜分析儀蠕動泵的滾柱是否光滑，有無劃痕，有無樣品玷污，滾動能否自由無障礙。如果必要則拆下泵頭進行清洗，需要時更換。觀察光譜分析儀廢液是否穩(wěn)定地排出，如果沒有則調(diào)節(jié)泵管的松緊程度。檢查霧室與排廢液管的接頭以及排廢液管，必要時進行更換。
若循環(huán)水冷卻系統(tǒng)具有單獨的開關(guān)，關(guān)閉循環(huán)水冷卻系統(tǒng)和空氣壓縮機。只有檢測器溫度達到±15°C或更高溫度時，才可以關(guān)閉氬氣。若循環(huán)水和檢測器冷卻系統(tǒng)沒有單獨的開關(guān)。關(guān)閉光譜儀的主電源，待60min后，才可以關(guān)閉氬氣。推出分析軟件系統(tǒng)，依次關(guān)閉計算機、顯示器、打印機、主機電源和穩(wěn)壓電源。最后檢查實驗室的水、電、氣，填寫好儀器使用記錄。
注意：如果是光譜分析儀CID檢測器，在處于冷卻狀態(tài)時，關(guān)閉或沒有打開吹掃氣體，可能會使CID檢測器結(jié)霜，對其造成不可挽回的損壞。夏天遇雷雨天氣提前關(guān)掉光譜分析儀，防止雷擊。
